1983年7月20日,上海钟錶厂的精密车间里,林晚秋戴著防震手套操作著台改装的摆轮拋光机——这是陈参谋用五台红旗牌轿车从瑞士侨商手里换来的二手设备,导轨上还留著1978年加工天文钟摆的油跡。她的帆布工装口袋里露出復旦大学的技术协作函,“硅晶圆表面处理“的红章被机油浸出晕染,与晶圆表面的划痕形成奇妙呼应。
“粗糙度ra达到1.2n,“宋浩隔著防尘面具比划,他刚从上海光学仪器厂捡来的聚氨酯拋光垫还滴著去离子水。林晚秋瞥见对方工装口袋露出的《机械工程学报》,1982年版的“精密磨削“章节被折成拋光垫的形状,页边用铅笔写著:“表面平整度=钟錶游丝振幅x0.45“。
父亲的咳嗽声从临时搭建的拋光间传来,他正在用母亲的缝纫机梭芯改造晶圆夹具。“这台机器1961年给上海天文台织过钟摆油布,“他的手指划过改装的卡盘,袖口的1965年核试验纪念章蹭到“上海技改试点“的標语,“现在用来夹硅片...也算跨界重生。“
母亲端著铝製饭盒进来,粗布围裙下露出上海市经委发的《新材料试製许可》——“微电子材料“的烫金被错印成“微电孑材料“,却用焊锡在旁边补出完整的“子“。“钟錶老师傅说咱们的拋光液像钟錶油,“她的针锥挑开饭盒里的糟毛豆,动作与林晚秋调整拋光压力的手法如出一辙,“我把你爸的军功章镶在夹具上了。“
上海市纺织工业局的王科长推开门,搪瓷缸里的茶叶梗在“增產节约“的標语上漂成拋光曲线。“林厂长,“他的钢笔悬在《特种设备使用整改通知》上方,笔尖对准拋光机上的“swiss ade“铭牌,“有人举报你们...用进口设备搞资本主义电子实验。“
林晚秋的目光扫过父亲藏在工具箱里的1983年肺功能报告——“硅尘沉积量超標241%“的结论旁,是她用红笔写的“类似晶圆表面粗糙度“批註。她摸出神秘人k.c.从东京寄来的航空信封,1983年《journal of vacuu sce》被剪成拋光垫形状,边缘焊著块从上海半导体所废料堆捡来的拋光液喷嘴。
“这是沪港科技合作的实验设备。“宋浩把通知翻到背面,用算盘珠排列的二进位码正好组成“技改专项“的ascii值。林晚秋注意到他手臂新添的灼伤——今早调试拋光液温度时留下的,和自己锁骨下1982年提纯锗时的旧伤形成镜像。
子夜的拋光间里,林晚秋用母亲的银顶针改造的压力传感器调整拋光头。当轮廓仪显示晶圆表面起伏小於5n时,父亲突然从袄里摸出个油纸包:“纺织局老战友埋在坯布堆里的光刻掩膜版,说比日本东芝的还耐曝光。“油纸泛黄的边缘印著“1967年军工绝密“,与他后颈日益明显的放射性白斑形成诡异呼应。